SiC種結晶

直径：200 mm または 153 mm
標準厚：500 μm または 1.0 mm
導電型：N型
結晶方位：(0001) または オフ角 0～6°
用途：6インチおよび8インチ結晶成長用
製品タイプ：Si面またはC面ポリッシュ